空气分离的工艺过程包括哪些系统？

大气通过自洁式空气过滤器被空压机吸入。压缩空气冷却后进入预冷系统冷却，送入分子筛纯化器去除掉空气中的二氧化碳和碳氢等有害杂质。清洁空气然后送入冷箱，进入主换热器被反流气体冷却到流程所需的温度。一部分冷却后的空气进入膨胀机膨胀制冷。膨胀后的空气进入分流塔，或主换热器复热。剩余空气进入分流塔进行低温分离。分离后的氧气、氮气和废弃经主换热器复热后出冷箱。废气出冷箱后进纯化器再生分子筛，还有一部分废气进预冷系统提供冷量