洁净等级标准对照表？

1、送风洁净度，从洁净度要求考虑，以低级别洁净室选用低性能过滤器、高级别洁净室选用高性能过滤器为原则，要选择好过滤器还要全面考虑洁净室特性、过滤器特性和净化系统特性；

2、气流组织，在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流，避免将工作区以外的污染带入工作区；尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会；工作区的气流要尽量均匀，且其风速要满足工艺和卫生要求，当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走；

3、送风量或风速，100万级洁净室的通风量是按高中效净化系统考虑，其余均按高效净化系统考虑；当10万级洁净室高效过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚高效过滤器时，可适当提高换气次数；

4、静压差，洁净室维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、以维持设计洁净度等级必不可少地条件之一。