SF6在电弧电晕作用下，会与水发生反应，产生强腐蚀性HF物质和剧毒氟化物，危及设备和人员的安全，并可能引发爆炸事故。
当设备内SF6气体湿度过高，绝缘子表面为液体时，绝缘子表面放电电压降低，降低设备内部绝缘。
除湿度外，在用设备的绝缘还与温度、压力等其他参数有关。设备的绝缘等级也在不同压力下测量的相同湿度值下变化
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