半导体行业废气处理工艺(半导体行业废气处理工艺流程)

一、半导体工艺废气包括哪些？

酸性气体，碱性气体，有机废气，有毒气体。电子半导体行业在生产时会使用显影剂、光刻胶、清洁剂、蚀刻液等溶剂，而这些溶剂是含有大量的有机物成分。

　　工业上的有机废气处理常用的工艺有:活性炭吸附处理法、酸碱中和法、等离子法、直接燃烧法、催化燃烧法、吸收法、冷凝法等。

二、废气处理设备工艺控制指标？

废气处理设备工艺指标主要是呃有呃废气的污染程度及质量，以及呃呃污染污染废气中所含的污染物来划分指标的。分为轻度、中度梁分为轻度、中度、重度梁U。

三、有机废气VOCs处理有哪些工艺？

1燃烧法

燃烧法是指VOCs气体在高温和充足空气下进行完全燃烧，分解成CO2和H2O。在处理石化、印刷、油漆生产和制药等生产工艺产生的高浓度VOCs气体时具有很高的效率。但如果废气中还有氯、硫和氮等元素，燃烧后会产生有害气体，造成二次污染。燃烧法包括直接燃烧法、催化燃烧法、热力燃烧法。热力燃烧法指在处理低浓度废气时，还需加入助燃气体来提升温度，达到去除目的。催化燃烧法是使用催化剂来降低VOCs气体燃烧所需要的温度，且能重复利用燃烧产生的热量，如Yang等研制的CuO/CeO2-ZrO2/TiO2催化剂，温度达到270℃时可完全去除乙酸乙酯。催化燃烧法广泛应用于炼焦、化工和金属印刷等行业，具有较高的积极效益。近年来，国内外研究者不断开发新的催化剂，以达到节能和经济的双重效益。

2吸收法

吸收法是利用液体溶剂吸收废气中的VOCs，以达到净化废气的目的。目前多以水、轻柴油作为吸收溶剂，该方法设备简单，对低浓度VOCs废气的处理具有很好的效果。但要做好对吸收剂的处理，以免造成二次污染。岑超平等以柠檬酸钠溶液为吸收液进行脱除甲苯废气的试验研究，去除率达93%，并从饱和的柠檬酸钠溶液中蒸馏回收甲苯，蒸馏后的吸收液还可重复使用，仍保持较高的吸收效率。

3冷凝法

冷凝法是最简单的回收方法,该法的原理:通过将操作温度控制在VOC的沸点以下而将VOC冷凝下来,从而达到回收VOC的目的。通常使用的冷却介质主要有冷水、冷冻盐水和液氨。通常该技术仅用于VOC含量高(百分之几)、气体量较小的有机废气的回收处理。其回收率与有机物的沸点有关,沸点较高时,回收率高;沸点较低时,回收效果不好。

由于大部分VOCs系易燃、易爆气体,受到爆炸极限的限制,气体中的VOC含量不会太高,所以,要达到较高的回收率,需采用较很低温度的冷凝介质或采用高压措施,这些都势必会增加设备投资和提高处理成本,而且在通常的操作条件下,由于相平衡的制约,有机物蒸汽压较高,故离开冷凝器的排气中的VOC含量仍不能达到排放标准,该法一般不单独使用,常与其它方法(如吸附、吸收、膜分离法等)联合使用,这里不作详细介绍。

4吸附法

吸附法早已用于VOCs的回收处理。尤其是活性炭吸附法已经广泛应用于苯系物、卤代烃的吸附处理。商业化的吸附剂有粒状活性炭和活性炭纤维两种,它们的吸附原理和工艺流程完全相同。其它的吸附剂,如沸石、分子筛等,也已在工业上得到应用,但因费用较高而限制了它们的广泛使用。吸附法又分为固定床吸附法、流动床吸附法和浓缩轮吸附法。

四、VOCs废气处理工艺有哪些？

有机废气处理方法 1、冷凝回收法：把有机废气直接导入冷凝器经吸附、吸收、解板、分离，可回收有价值的有机物，该法适用于有机废气浓度高、温度低、风量小的工况，需要附属冷冻设备，主要应用于制药、化工行业，印刷企业较少采用。 2、吸收法：一般采用物理吸收，即将废气引入吸收液进净化，待吸收液饱和后经加热、解析、冷凝回收；本法适用于大气量、低温度、低浓度的废气，但需配备加热解析回收装置，设备体积大、投资较高。 一般采用活性炭吸附法：通过活性炭吸附废气，当吸附饱和后，活性炭脱附再生，将废气吹 脱后催化燃烧，转化为无害物质，再生后的活性炭继续使用。当活性炭再生到一定次数后，吸附容量明显下降，则需要再生或更新活性炭。 活性炭是目前处理有机废气使用最多的方法，对苯类废气具有良好的吸附性能，但对烃类废气吸附性较差。主要缺点是运行成本较高，不适合于湿度大的环境，但就目前市场应用来说，采用活性炭吸附最为常用。活性炭采用最多为：活性炭颗粒及活性炭纤维，采用活性炭颗粒价格比较便宜，但效果差些，相比来说采用活性炭纤维价格相对高些，效果好些。有机气体专用活性炭 　　A.比表面积大，有效吸附量高。由于同样重量的鑫森活性炭的表面积是煤质活性炭颗粒的近十倍，所以需要填充的活性炭的重量非常小，然而吸附效率却非常高，根据所处理废气的有机气体含量和其它物理特性的不同，吸附效率在85％至98％之间，多级吸附工艺可以达到99.99％,远远高于普通活性碳颗粒吸附法的最高吸附率88％，而且体积及总重量也都很小。 　　B.吸附﹑脱附行程短，速度快；脱附﹑再生耗能低。活性炭对有机气体吸附量比普通颗粒状活性炭(GAC)大几倍至几十倍，对无机气体也有很好的吸附能力，并能保持较高的吸附脱附速度和较长的使用寿命。如用 水蒸气加热10-30分钟，即可完全脱附，耐热性能好，在惰性气体中耐高温1000℃以上，在空气中着火点达450℃以上。 　　C.形状可变，使用方便。有柱状，球形颗粒，更换方便，不会对人体造成任何危害。 　　D.可根据需要生产出具有特殊性能的专用活性炭；强度好，不会造成二次污染。 3、直接燃烧法：利用燃气或燃油等辅助燃料燃烧，将混合气体加热，使有害物质在高温作用下分解为无害物质；本法工艺简单、投资小，适用于高浓度、小风量的废气，但对安全技术、操作要求较高。 4、催化燃烧法：把废气加热经催化燃烧转化成无害无臭的二氧化碳和水；本法起燃温度低、节能、净化率高、操作方便、占地面积少、投资投资较大，适用于高温或高浓度的有机废气。 5、吸附法： 　　（1）直接吸附法：有机废气经活性炭吸附，可达95%以上的净化率，设备简单、投资小，但活性炭更换频繁，增加了装卸、运输、更换等工作程序，导致运行费用增加。 　　（2）吸附-回收法：利用纤维活性炭吸附有机废气，在接近饱和后用过热水蒸汽反吹，进行脱附再生；本法要求提供必要的蒸汽量。 　　（3）新型吸附-催化燃烧法：此法综合了吸附法及催化燃烧法的优点，采用新型吸附材料（蜂窝状活性炭）吸附，在接近饮和后引入热空气进行脱附、解析，脱附后废气引入催化燃烧床无焰燃烧，将其彻底净化，热气体在系统中循环使用，大大降低能耗。本法具有运行稳定可靠、投资省、运行成本低、维修方便等特点，适用于大风量、低浓度的废气治理，是目前国内治理有机废气较成熟、实用的方法。

五、厌氧工艺产生废气需要处理吗？

需要处理。

厌氧工艺分为UASB、ABR、IC等反应器和A/O工艺或者是A2/O工艺，这其中的缺氧、水解酸化、兼氧等都是常说的厌氧。

如果是厌氧反应器UASB、IC等产生的废气，其主要成分是甲烷，是一种清洁能源，可以做回收利用，也可以利用燃烧火炬来直接燃烧。如果是水解酸化，缺氧、兼氧产生的废气的话，这个就是属于有机废气处理的一种了，可以采用生物除臭、等离子除臭、活性炭光氧一体机等。在选择用等离子除臭设备的同时要考虑废水中的甲烷产量，避免发生危险。

六、废气处理工艺有哪些及优势？

目前的挥发性有机污染物的治理包括破坏性，非破坏性方法，及这两种方法的组合。

破坏性的方法包括燃烧、生物氧化、热氧化、光催化氧化，低温等离子体及其集成的技术，主要是由化学或生化反应，用光，热，微生物和催化剂将VOCs转化成CO2和H2O等无毒无机小分子化合物。

非破坏性法，即回收法，主要是碳吸附、吸收、冷凝和膜分离技术，通过物理方法，控制温度，压力或用选择性渗透膜和选择性吸附剂等来富集和分离挥发性有机化合物。

传统的挥发性废气处理常用吸收、吸附法去除，燃烧去除等，在最近几年中，半导体光催化剂的技术体，低温等离子得到了迅速发展。

七、锅炉产生废气处理工艺是什么？

锅炉废气具有高温和腐蚀性，针对锅炉废气可以使用万川环保的气旋喷淋塔进行处理。

1.定制化程度高，气旋喷淋塔可以根据企业实际情况量身定做，包括所需要的风量与动力、管道的走向、集气罩等配置。

2. 气旋喷淋塔具有阻力小、能耗省、噪声低、处理效率高等优点，可以处理多种粉尘和废气。

3. 气旋喷淋塔适用连续性和间歇性的污染物排放处理，管理操作方便简单，不会对车间的生产造成任何影响。

4.气旋喷淋塔由PLC控制风机转速，既能满足车间随时所需要的风量和风速，又能很好的解决了运行成本问题，达到节能目的。经气旋喷淋塔治理后达到国家和地方的排放标准，适用于半导体、冶金、电镀、化工、硅胶、制药等行业中的锅炉废气处理。

八、工业有机废气处理工艺有哪些？

1.吸附工艺

吸附法主要适用于低浓度气态污染物的净化，对于高浓度的有机气体，通常需要首先经过冷凝等工艺将浓度降低后再进行吸附净化。吸附技术是最为经典和常用的气体净化技术，也是目前工业VOCs 治理的主流技术之一。吸附法的关键技术是吸附剂、吸附设备和工艺、再生介质、后处理工艺等。

活性炭因其具有大比表面积和微孔结构而广泛应用于吸附回收有机气体。目前，对活性炭吸附有机气体的研究主要集中在吸附平衡的预测、活性炭材料的改性及有机物的物化性质对活性炭吸附性能的影响。

2.吸收工艺

用溶液、溶剂或清水吸收工业废气中的挥发性气体，使其与废气分离的方法叫吸收法。溶液、溶剂、清水称为吸收剂。吸收剂不同可以吸收不同的有害气体。

吸收法使用的吸收设备叫吸收器、净化器或洗涤器。吸收法的工艺流程和湿法除尘工艺近似，只是湿法除尘工艺用清水，而吸收法净化有害气体要用溶剂或溶液。

3.冷凝工艺

油品在储运和销售过程中部分轻烃组分挥发进入大气，造成资源浪费和环境危害。同时有机溶剂广泛应用于工业生产中，每年都有大量的有机溶剂挥发到空气中，危害人类健康，造成严重的环境污染。采取合适的方法回收这些挥发性有机物不但可以降低企业生产成本，而且具有巨大的环保效益。

冷凝法是用来回收VOCs的一种有效方法，其基本原理是利用气态污染物在不同的温度和压力下具有不同饱和蒸汽压，通过降低温度和增加压力，使某些有机物凝结出来，使VOCs得以净化和回收。

4.膜分离工艺

在石油开采和储运过程中，部分油品挥发到大气中形成的油气中，除空气外，主要C4-C5以及少量芳香烃。这些有机蒸气排放不仅造成严重的资源浪费，而且对空气质量有很大影响，进而影响人类的健康，目前，有机蒸气的分离回收方法主要是冷凝、活性炭吸附、膜分离法、溶剂吸收法。膜分离技术是一种效率较高的分离方法 。

5.燃烧工艺

一类VOCs 处理方法是所谓破坏性技术，即通过化学或生物的技术使VOCs 转化为二氧化碳、水以及氯化氢等无毒或毒性小的无机物。燃烧法即属此类技术。

燃烧法分直接燃烧法和催化燃烧法。直接燃烧法适合处理高浓度 VOCs 的废气，因其运行温度通常在800-1200℃时，工艺能耗成本较高，且燃烧尾气中容易出现二恶英、NOx等副产物；由于废气中VOCs浓度一般较低，仅仅依靠反应热，一般难以维持反应所需的温度。

为了提高热经济性，人们开展了大量的研究，一个方向是改进催化剂的性能使反应温度降低。另一个方向是研究新的工艺技术、新的反应器设计以使反应能在较高的温度下自热地实现。

6.生物过滤工艺

利用微生物的新陈代谢过程对多种有机物和某些无机物进行生物降解，可以有效去除工业废气中的污染物质，此即为处理有机废气的生物法。

最先提出采用微生物处理废气构想的是 Bach，他曾于1923年利用土壤过滤床处理污水处理厂散发的含 H2S 恶臭气体。在德国和荷兰的许多地区，该技术已大规模并成功地应用于控制气味，挥发性有机化合物和空气中的有毒排放，许多常见的空气污染物的控制效率已经达到90％以上。

7.等离子体工艺

等离子体污染物控制技术利用气体放电产生具有高度反应活性的粒子与各种有机、无机污染物发生反应，从而使污染物分子分解成为小分子化合物或氧化成容易处理的化合物而被去除。

这一技术的最大特点是可以高效、便捷地对多种污染物进行破坏分解，使用的设备简单，占用的空间较小，并适合于多种工作环境。

九、请问哪些行业要做废气处理工程？

废气处理设备广泛应用于食品、化工、塑胶、电子、汽车喷涂、模具、木业、冶金、发电厂、太阳能、合金打磨等行业。关于这些行业源和环保有做过上百个成功案例。

十、目前有机废气处理常用的工艺有哪些？

1、掩蔽法 采用更强烈的芳香气味与臭气掺和，以掩蔽臭气，使之能被人接收 适用于需立即地、暂时地消除低浓度恶臭气体影响的场合，恶臭强度2.5左右，无组织排放源 可尽快消除恶臭影响，灵活性大，费用低 恶臭成分并没有被去除

2、稀释扩散法 将有臭味地气体通过烟囱排至大气，或用无臭空气稀释，降低恶臭物质浓度以减少臭味 适用于处理中、低浓度的有组织排放的恶臭气体 费用低设备简单 易受气象条件限制，恶臭物质依然存在

3、热力燃烧法 在高温下恶臭物质与燃料气充分混和，实现完全燃烧 适用于处理高浓度、小气量的可燃性气体 净化效率高，恶臭物质被彻底氧化分解 设备易腐蚀，消耗燃料，处理成本高，易形成二次污染

4、催化燃烧法

5、水吸收法 利用臭气中某些物质易溶于水的特性，使臭气成分直接与水接触，从而溶解于水达到脱臭目的 水溶性、有组织排放源的恶臭气体 工艺简单，管理方便，设备运转费用低 产生二次污染，需对洗涤液进行处理；净化效率低，应与其他技术联合使用，对硫醇，脂肪酸等处理效果差

6、药液吸收法 利用臭气中某些物质和药液产生化学反应的特性，去除某些臭气成分 适用于处理大气量、高中浓度的臭气 能够有针对性处理某些臭气成分，工艺较成熟 净化效率不高，消耗吸收剂，易形成而二次污染

7、吸附法 利用吸附剂的吸附功能使恶臭物质由气相转移至固相 适用于处理低浓度，高净化要求的恶臭气体 净化效率很高，可以处理多组分恶臭气体 吸附剂费用昂贵，再生较困难，要求待处理的恶臭气体有较低的温度和含尘量

8、生物滤池式脱臭法 恶臭气体经过去尘增湿或降温等预处理工艺后，从滤床底部由下向上穿过由滤料组成的滤床，恶臭气体由气相转移至水—微生物混和相，通过固着于滤料上的微生物代谢作用而被分解掉 目前研究最多，工艺最成熟，在实际中也最常用的生物脱臭方法。又可细分为土壤脱臭法、堆肥脱臭法、泥炭脱臭法等。 处理费用低 占地面积大，填料需定期更换，脱臭过程不易控制，运行一段时间后容易出现问题，对疏水性和难生物降解物质的处理还存在较大难度。

9、生物滴滤池式 原理同生物滤池式类似，不过使用的滤料是诸如聚丙烯小球、陶瓷、木炭、塑料等不能提供营养物的惰性材料。 只有针对某些恶臭物质而降解的微生物附着在填料上，而不会出现生物滤池中混和微生物群同时消耗滤料有机质的情况 池内微生物数量大，能承受比生物滤池大的污染负荷，惰性滤料可以不用更换，造成压力损失小，而且操作条件极易控制 需不断投加营养物质，而且操作复杂，使得其应用受到限制

10、洗涤式活性污泥脱臭法 将恶臭物质和含悬浮物泥浆的混和液充分接触，使之在吸收器中从臭气中去除掉，洗涤液再送到反应器中，通过悬浮生长的微生物代谢活动降解溶解的恶臭物质 有较大的适用范围 可以处理大气量的臭气，同时操作条件易于控制，占地面积小 设备费用大，操作复杂而且需要投加营养物质

11、曝气式活性污泥脱臭法 将恶臭物质以曝气形式分散到含活性污泥的混和液中，通过悬浮生长的微生物降解恶臭物质 适用范围广，目前日本已用于粪便处理场、污水处理厂的臭气处理 活性污泥经过驯化后，对不超过极限负荷量的恶臭成分，去除率可达99.5%以上。 受到曝气强度的限制，该法的应用还有一定局限

12、三相多介质催化氧化工艺 反应塔内装填特制的固态复合填料，填料内部复配多介质催化剂。当恶臭气体在引风机的作用下穿过填料层，与通过特制喷嘴呈发散雾状喷出的液相复配氧化剂在固相填料表面充分接触，并在多介质催化剂的催化作用下，恶臭气体中的污染因子被充分分解。 适用范围广，尤其适用于处理大气量、中高浓度的废气，对疏水性污染物质有很好的去除率。 占地小，投资低，运行成本低；管理方便，即开即用；耐冲击负荷，不易污染物浓度及温度变化影响。 需消耗一定量的药剂

13、低温等离子体技术 介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。 适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭气体，如化工、医药等行业。 电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；运行费用低；反应快，设备启动、停止十分迅速，随用随开。 一次性投资较高。