工业上等离子体刻蚀的废气怎么处理的
外接scrubber处理，氧化，吸附还有喷淋，选择很多。主要看你使用什么气体了。
现在国内的SCRUBBER里 EBARA的使用比较多，你可以去了解一下。好像爱德华也有。
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